Stempel aluminium sheet metalen dielen

Oxidaasjeproses

De folgjende stappen wurde faak opnommen yn it oksidaasjeproses:

1. Raw materiaal feeding: Brûk pipes om de grûnstoffen oan 'e reaktor te leverjen om it goede balâns fan grûnstoffen binnen te hâlden.
2. Reaksje: Om de oksidaasjereaksje út te fieren, add soerstof oan 'e reaktor en regelje de reaksjeparameters (lykas temperatuer, druk en reaksjetiid).
3. Produkt skieding: Brûk in loftkoeler om it reagearre produkt te koeljen, it fan in gasfoarmige steat te feroarjen yn in floeibere of fêste foarm, en brûk dan in skieding om de produkten te skieden dy't ûntsteane út ferskate komponinten.
4. Reiniging: Om te soargjen dat it reaksjeprodukt de nedige suverens berikt, reinigje it.
5. Ferpakking: Nei't de produkten suvere binne, wurde se ferpakt yn oerienstimming mei rjochtlinen en noarmen foardat se ferkocht wurde oan kliïnten of stjoerd nei de folgjende faze fan ferwurking.

Yn guon spesifike tapassingen, lykas ferwurkjen fan semiconductor wafers, giet it oksidaasjeproses ek om it leverjen fan oksidanten (lykas wetter, soerstof) en termyske enerzjy op it silisiumsubstraat om in silisiumdioxide (SiO2) film te foarmjen. Dizze oksidefilm beskermet de wafel troch te foarkommen dat lekstroom tusken circuits streamt, it foarkommen fan diffusion tidens it ion-ymplantaasjeproses, en fungearret as in anty-etsfilm dy't ferkeard etsen foarkomt tidens it etsproses.